一、POLOS Advanced系列濕法刻蝕處理系統(tǒng)產(chǎn)品介紹

我們的POLOS Advanced系列濕法處理系統(tǒng)涵蓋了廣泛的工藝應(yīng)用。與我們的超聲MegPie和特殊的Lift-Off液結(jié)合使用，可進(jìn)一步用于光阻剝離和金屬剝離。此外，也可與去離子水（DiO3）中的臭氧一起使用，為Piranha ( H2SO4  H2O2)清洗提供有效的替代。

Coating - Etching- Developing - Cleaning

1、Coating

（1）POLOS Advanced系列濕法處理系統(tǒng)適用于所有典型的旋涂工藝，該系統(tǒng)在特殊應(yīng)用可選用高耐化學(xué)性 PTFE (TFM?)作為旋涂腔體。旋涂是制造納米聚合物薄膜（PDMS、嵌段聚合體等）技術(shù)?？删幊绦D(zhuǎn)速度內(nèi)的加速度是很重的，因?yàn)樗刂屏藦囊粋€(gè)給定的溶液中可以獲得的厚度。旋涂可以相對(duì)容易地從1000轉(zhuǎn)以上的轉(zhuǎn)速產(chǎn)生均勻的薄膜。

（2）POLOS Advanced系列濕法處理系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)在于其所采用的馬達(dá)為高性能無(wú)刷電機(jī)，12,000轉(zhuǎn)/分鐘的旋轉(zhuǎn)速度和高達(dá)30,000轉(zhuǎn)/秒*的旋轉(zhuǎn)加速度，使其能夠快速生產(chǎn)從幾納米到幾微米厚的均勻薄膜。

（3）POLOS Advanced系列濕法處理系統(tǒng)控制電機(jī)模式的旋轉(zhuǎn)（順時(shí)針/逆時(shí)針），結(jié)合可選的多達(dá)6個(gè)自動(dòng)分配器，能夠?qū)崿F(xiàn)多層薄膜的均勻沉積和光阻顯影。這些特點(diǎn)支持用全自動(dòng)和高度可重復(fù)的程序配方來(lái)快速優(yōu)化工藝。

2、Etching

晶圓減?。ū趁嫜心ィ┑男课g刻作為晶圓減薄的后處理方法被用于集成電路和MEMS的制造，以便于：

（1）實(shí)現(xiàn)理想的器件厚度（IC、MEMS）；

（2）確?；谄骷δ艿奶囟ê穸龋∕EMS）；

（3）減少垂直器件（功率器件）的基材串聯(lián)電阻；

德國(guó)Fraunhofer ENAS的K.Gottfried博士在POLOS Advanced濕法處理系統(tǒng)上用HNO3 / HF / CH3COOH進(jìn)行旋涂蝕刻的研究證明，濕法蝕刻，作為旋涂蝕刻的執(zhí)行，可以去除10微米的硅。此外，它幾乎*消除了研磨引起的基材損傷的所有痕跡。該平臺(tái)提供了一個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單且價(jià)格合理的工藝設(shè)置。該工藝比CMP快得多，它提供了一個(gè)較高的蝕刻率，并且能夠直接處理背面研磨的晶圓，而不需要額外的清洗。

該平臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)特點(diǎn)：

①適用于100毫米、150毫米和200毫米晶圓的工藝；

②適用于多種化學(xué)品；

③KOH

④HNO3 / HF / CH3COOH (HNA)

⑤晶圓片連續(xù)旋轉(zhuǎn)；

⑥Puddle模式

⑦分注位置可固定

⑧在特定距離(晶圓直徑)上的振蕩運(yùn)轉(zhuǎn)模式

⑨噴霧式點(diǎn)膠  

⑩沖洗式點(diǎn)膠

資料來(lái)源：Fraunhofer ENAS-Dr. Knut Gottfried, Precise Bulk Silicon Wet Etching 2013.

Fraunhofer ENAS-Knut Gottfried博士，批量硅濕法蝕刻 2013年。

3、Post-CMP Cleaning

在CMP之后，表面可能會(huì)被漿料的殘留物高度污染。在用含有50nm膠體二氧化硅顆粒的漿料拋光的3''硅片上進(jìn)行的測(cè)試表明，使用POLOS Advanced與ZTop MegPie兆聲波換能器在1MHz左右工作，結(jié)合稀釋的NH4OH，可以產(chǎn)生很好的清潔效果。

高度稀釋（2%）的NH4OH用于增強(qiáng)顆粒和表面之間的靜電排斥力（控制Zeta電位），以避免重新沉積和重新附著。

我們的測(cè)試案例將POLOS ZTop MegPie整合在POLOS 200 Advanced 濕法處理系統(tǒng)內(nèi)。這個(gè)MegPie套件允許你在150毫米和200毫米的有效尺寸之間進(jìn)行選擇，并可選擇藍(lán)寶石或不銹鋼ZTop MegPie。

POLOS ZTop MegPie控制集成到POLOS Advanced的軟件中，允許伺服控制MegPie的定位和控制前進(jìn)功率。它還監(jiān)測(cè)反射功率，并控制溫度警報(bào)。與基體的距離由一個(gè)超聲波傳感器監(jiān)測(cè)。

二、POLOS Advanced系列濕法刻蝕處理系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)