一、膜厚儀產(chǎn)品組成：

（1）測(cè)試主機(jī)

（2）光纖

（3）校正件

（4）測(cè)量頭

（5）夾持裝置

（6）手提電腦

（7）設(shè)備箱

二、膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

（1）采用光譜干涉原理進(jìn)行測(cè)量，具有非接觸、無破壞、快速等特點(diǎn)；

（2）可在真空環(huán)境使用；

（3）可與大行程工件臺(tái)配合，實(shí)現(xiàn)大面積膜厚自動(dòng)測(cè)量；

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

（1）測(cè)量范圍（VIS）：15nm—100μm    

（2）測(cè)量重復(fù)性（RMS）：0.086nm    

（3）測(cè)量*精度（與橢偏儀對(duì)比）：0.25nm    

（4）測(cè)量層數(shù)：大于3層；

（5）使用光源：鹵素?zé)簦?   

（6）入射角度：90°    

（7）測(cè)試材料：透明或半透明薄膜材料；    

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可選）    

（9）測(cè)量時(shí)間：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0    

武漢月憶神湖科技有限公司簡(jiǎn)稱“武漢月憶"，是大陸的一家創(chuàng)*科技公司，部位于九省通衢-湖北武漢。

主營實(shí)驗(yàn)室儀器、試劑耗材等，旨在為半導(dǎo)體芯片制造、MEMS、鈣鈦礦太陽能電池以及微流體芯片制造等領(lǐng)域的廣大科研工作者提供*的解決方案和性能優(yōu)異的產(chǎn)品，在儀器儀表－實(shí)驗(yàn)儀器裝置行業(yè)獲得廣大客戶的認(rèn)可。

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