價(jià)格
電議
型號(hào)
URE-2000/35
品牌
ZKY
所在地
暫無
更新時(shí)間
2023-01-25 16:33:24
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一、URE-2000/35紫外掩膜光刻機(jī)產(chǎn)品特征:
URE-2000/35采用自動(dòng)找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動(dòng)分離對準(zhǔn)間隙和消除 曝光間隙,采用 350W 進(jìn)口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制,性能非常可靠,自動(dòng)化程 度很高,操作十分方便。非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動(dòng)化程度高)和高校教學(xué)科研 (可靠性好,演示方便)。
二、URE-2000/35紫外掩膜光刻機(jī)技術(shù)參數(shù):
(1)曝光面積:4英寸
(2)曝光波長:365nm
(3)分辨力:0.8μm
(4)對準(zhǔn)精度:±0. 8μm
(5)掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:15mm; Y:15mm
(6)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;
(7)樣片尺寸:直徑φ10mm-- φ100mm(各種不規(guī)則片);
(8)樣片厚度:0.1mm--5mm(可擴(kuò)展為15mm);
(9)曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)和定劑量;
(10)具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
(11)照明不均勻性: 3%(φ100mm 范圍)
(12)雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)*倍數(shù)400倍,光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對:4倍、10倍、20倍
目鏡三對:10倍、16倍、20倍
(13)調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù);
(14)數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙;
(15)具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口;
(16)掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ:±6o
(17)*膠厚:400μm(SU8膠,用戶提供檢測條件)
(18)光源平行性:3.5 o
(19)曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
(20) 單層曝光一鍵完成;
(21)采用球氣浮自動(dòng)找平;
(22)汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口汞燈);
(23)外形尺寸:1200mm(長)×900mm(寬)×1750mm(高);
三、配置
(1)曝光頭
①冷光橢球鏡
②350W進(jìn)口直流高壓汞燈(進(jìn)口)
③XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
④冷卻風(fēng)扇
⑥光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
(2)對準(zhǔn)工件臺(tái)
①掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
②掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺(tái)
③轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
④樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
⑤基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
⑥樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),電機(jī)自動(dòng)調(diào)
⑦承片臺(tái)4個(gè):f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用戶要求增減)
⑧掩模夾4個(gè):3英寸、4英寸、5英寸(可按用戶要求增減)
(3)對準(zhǔn)顯微鏡
①光源(配備品2只)、 電源
②雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
③目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個(gè))
④物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個(gè))
⑤CCD對準(zhǔn)系統(tǒng),21寸液晶顯示器
(4)電控系統(tǒng)
①汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
②單片機(jī)控制系統(tǒng)
③控制柜桌
(5)氣動(dòng)系統(tǒng)
①氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
②電磁閥驅(qū)動(dòng)
③氣動(dòng)儀表
(6)其他附件
①真空泵一臺(tái)
② 空壓機(jī)一臺(tái)
③管道
(7)技術(shù)資料
①使用維修說明書
②顯微鏡使用說明書