一、URE-2000A型紫外掩膜式光刻機(jī)技術(shù)參數(shù)

1. 曝光面積：150mmX150mm

2. 曝光波長(zhǎng)：365nm

3. 分辨率：0.8~1μm （膠厚 2μm的正膠）；

4. 對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 6μm

5. 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm; Y：15mm

6. 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

7. 樣片尺寸：直徑φ15mm~φ150mm（各種不規(guī)則片）；厚度 0.1mm~5mm(可拓展至 15mm)；

8. 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式），0.1s~9999s

9. 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光 、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

10. 照明不均勻性： 2.5%（φ100mm 范圍）；5%（φ150mm 范圍）；

11. 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+ 顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)*倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大800倍；

物鏡三對(duì)：4  倍、10  倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10  倍、16  倍、20 倍

12. 調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)；

13. 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙；

14. 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；

15. 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm;  Y: ±5mm;  θ: ±6 度

16. *膠厚：500μm(SU8膠)

17. 光源平行性：2°

18. 曝光能量密度：>18mW/cm2

19. 冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷

20. 曝光面溫度：<30 °C

21. 汞燈功率：1000W（直流， 進(jìn)口汞燈）

22. 外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）×1200mm(寬) ×1950mm（高）

二．URE-2000A型紫外掩膜式光刻機(jī)配置：

【曝光頭】

1. 冷光橢球鏡

2. 1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)

3. XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

4. 冷卻風(fēng)扇

5. 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡①、準(zhǔn)直鏡鏡②、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡①、場(chǎng)鏡 ②、冷光反射鏡 ①、反射鏡 ②

6. 循環(huán)水冷系統(tǒng)

【對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)】

1. 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

2. 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

3. 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

4. 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

5. 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)

6. 承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

7. 掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

8. 基片抽拉式上下片機(jī)構(gòu)

【對(duì)準(zhǔn)顯微鏡】

1. 光源（配備品 2 只）、電源

2. 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

3. 目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

4. 物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

【CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(選配)】

1. 光源（配備品 3 只）、電源

2. 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）

3. 數(shù)據(jù)采集卡

4. 三維工件臺(tái)（兩套）

5. CCD（2 只）

【電控系統(tǒng)】

1. 汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

2. 單片機(jī)控制系統(tǒng)

3. 控制柜桌

4. 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器

【氣動(dòng)系統(tǒng)】

1. 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

2. 電磁閥驅(qū)動(dòng)

3. 氣動(dòng)儀表

【其他附件】

1. 真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

2. 空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）

3. 管道

【技術(shù)資料】

1. 使用維修說(shuō)明書

2. 顯微鏡使用說(shuō)明書