keysight 是德 N5250A 網(wǎng)絡(luò)分析儀
N5250A用單掃描測(cè)量使頻率覆蓋達(dá)到10MHz至110GHz。緊湊的測(cè)試頭和2個(gè)內(nèi)裝合成器把占用空間減到*小,同時(shí)也降低了維護(hù)成本。
詳細(xì)介紹
? 10 MHz至110 GHz單掃描頻率范圍
? 端口1接25 dB微米衰減器
? 32 個(gè)通道,每條跡線有 16,001 個(gè)測(cè)量點(diǎn)
? 2種新的校準(zhǔn)能力,基于數(shù)據(jù)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)和擴(kuò)展的校準(zhǔn)算法,提供增強(qiáng)的精度和設(shè)計(jì)可靠性
在30至300 GHz之間,毫米波測(cè)量的應(yīng)用正在增加。從高數(shù)據(jù)速率到汽車(chē)行業(yè)再到射電天文學(xué),靈活的測(cè)量解決方案正日益顯現(xiàn)出它的優(yōu)勢(shì)。在這些應(yīng)用中,毫米波測(cè)量解決方案就必須遵守很多規(guī)則。例如,探測(cè)環(huán)境中的晶圓器件表征,或通過(guò)波導(dǎo)或同軸接口進(jìn)行模塊測(cè)試。解決方案還包括夾具中或自由空間的材料測(cè)量,或室外/室內(nèi)天線測(cè)試。
與低于3 GHz的應(yīng)用相比,當(dāng)前對(duì)毫米波元器件的要求相對(duì)較低,但是期望性能卻非常高。因此,頻率范圍和測(cè)量能力可擴(kuò)展的測(cè)量解決方案將提供更大的靈活性,以適應(yīng)多種應(yīng)用。
在許多新興電子技術(shù)中,*初的元器件(例如,在晶圓上制作的器件)是基本的構(gòu)建模塊。之后,這些器件被切成方塊,并通過(guò)引線鍵合加入到電路中,*終變成高度集成的模塊,增加了功能并被封裝成很小的體積。在作為模塊進(jìn)行進(jìn)一步測(cè)試之前,器件是*表征的晶圓。測(cè)試這些晶圓器件時(shí)所獲得的數(shù)據(jù)可用于參數(shù)提取,以建立模型,之后模型就可用于電路仿真了。
進(jìn)行毫米波測(cè)量
建立的電路仿真模型需要高質(zhì)量、220-GHz的探測(cè)解決方案。例如,圖1顯示了從140至220 GHz的50納米T選通變形GaAs HEMT晶圓測(cè)量1??赏瑫r(shí)觀看所有的4個(gè)S參數(shù)。請(qǐng)看左下方的跡線S21,在大約150 GHz處與X軸相交。為了揭示設(shè)備的真實(shí)增益,需要使用.s2p文件(原始數(shù)據(jù))進(jìn)行去嵌入處理,該處理過(guò)程可在網(wǎng)絡(luò)分析儀內(nèi)部進(jìn)行也可脫機(jī)進(jìn)行。
使用Agilent N5250A PNA系列毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀(帶有140至220GHz(N5260AW05)測(cè)試探頭模塊)進(jìn)行測(cè)量,采用Cascade Microtech公司的Summit系列12K探針臺(tái)可進(jìn)行晶圓測(cè)量。(圖2顯示了系統(tǒng)的110-GHz版本)。全部雙端口晶圓校準(zhǔn)使用Cascade Microtech的WinCal 2006校準(zhǔn)軟件進(jìn)行,執(zhí)行順序?yàn)橹蓖?、反射、反射、匹配(LRRM)。
圖1.50納米T選通變形HEMT晶圓測(cè)量在一個(gè)顯示屏幕上顯示所有的4個(gè)S參數(shù)。
1. 器件由格拉斯哥大學(xué)電子系Khaled Egajd博士制造并測(cè)量。
圖2.帶有Cascade Microtech公司Summit系列12K探針臺(tái)的N5250A 110 GHz毫米波系統(tǒng)。
插入部分顯示的是Cascade無(wú)限探針(GSG 150),波導(dǎo)版本可達(dá)220 GHz。
通過(guò)添加調(diào)制器(Agilent Z5623AH81)和雙路輸出脈沖發(fā)生器(Agilent 81110A),同一臺(tái)設(shè)備就改造成了用于脈沖測(cè)量的解決方案。圖3顯示了W頻段75至110 GHz 簡(jiǎn)單直通設(shè)備的脈沖仿形測(cè)量。用于這些測(cè)量的脈沖設(shè)置如下:
射頻脈沖寬度(PW):2?s(50%占空比);脈沖寬度(PW)可減至20 ns
B接收機(jī)選通脈沖寬度:20 ns(0.5%占空比)
測(cè)量頻率:100 GHz
脈沖形狀是一個(gè)非常有用的分析工具,因?yàn)樗娠@示由被測(cè)件(DUT)引起的任何脈沖失真。它是通過(guò)在輸入端使用脈沖信號(hào)激勵(lì)被測(cè)件,然后在輸出端折回信號(hào)以確定脈沖形狀的改變來(lái)完成。所有的這些改變都意味著被測(cè)件(DUT)非理想(例如,非線性)的行為。
要修改系統(tǒng)以覆蓋不同的毫米波頻帶就像更換測(cè)試探頭模塊一樣容易。例如,用N5260AW03代替N5260AW05(140至220 GHz)模塊,就可將頻帶從220變換到325 GHz。通過(guò)添加兩個(gè)外部頻率綜合信號(hào)源(例如,Agilent PSG信號(hào)發(fā)生器),就可在200 GHz以上輕松將系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)范圍或跡線噪聲提高。每個(gè)頻率綜合信號(hào)源都配置有520選件以滿足20 GHz頻率范圍;一個(gè)提供射頻信號(hào),另一個(gè)提供本地振蕩器(LO)。
圖3. 脈沖形狀測(cè)量可顯示由被測(cè)件(DUT)非線性行為引起的脈沖失真。
同樣的設(shè)備設(shè)置還可用來(lái)進(jìn)行相關(guān)的測(cè)量,例如,平均脈沖、脈沖內(nèi)的點(diǎn)和脈沖對(duì)脈沖的測(cè)量。還可使用該配置進(jìn)行室內(nèi)天線測(cè)量,運(yùn)用脈沖毫米波技術(shù)濾除多余信號(hào)。
圖4. 直觀的軟件界面應(yīng)用自由空間校準(zhǔn)技術(shù)提高材料測(cè)量(Agilent 85071E)。
除了晶圓、脈沖和天線應(yīng)用,毫米波解決方案還廣泛用于材料測(cè)量。圖4顯示了W頻段75至110 GHz系統(tǒng)在自由空間進(jìn)行材料測(cè)量的情況。由于W頻段波導(dǎo)接口體積小,所以自由空間技術(shù)可提供更利于管理的采樣體積(與W頻段波導(dǎo)接口體積相比)。有了毫米波解決方案就可以利用安捷倫的選通-反射-線(GRL)校準(zhǔn)技術(shù),這樣就可以無(wú)需額外硬件(通常比較昂貴)即可提供高精度。
結(jié)論
如前面的例子所示,PNA系列網(wǎng)絡(luò)分析儀毫米波解決方案可以進(jìn)行改造以適用于各種不同的應(yīng)用。這種通用解決方案是滿足當(dāng)今廣泛應(yīng)用和學(xué)科領(lǐng)域的*有效的途徑。同時(shí)也減少了對(duì)多種單一目標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的需求。
對(duì)于未來(lái)頻帶毫米波應(yīng)用,Agilent PNA-X網(wǎng)絡(luò)分析儀(N5242A)同樣可解決在此提到的所有測(cè)量。為充分利用該分析儀*的功能和能力,只需在每個(gè)所示解決方案中用N5242A替代PNA(E836xB)即可。
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