功能

多路氣體配氣儀，動態(tài)配氣稀釋儀

基本型號

MIH1000系列

氣量范圍

0～200SLM（可在此范圍內(nèi)任意定制）

稀釋配比范圍

1ppm到

流量單位

SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)    SLM（標(biāo)準(zhǔn)升/分）

精度誤差

±1％F.S.（可定制更高）

工作壓差范圍

0.1～0.5MPa

大耐壓

3MPa(可定制更高)

漏率

≤1×10^-9Pa·m³/S(He)

響應(yīng)時間

≤2 sec

輸出信號

標(biāo)準(zhǔn)RS485.RS232（可選）

介質(zhì)輸入溫度

5～45℃

工作環(huán)境溫度

5～45℃

工作環(huán)境濕度

＜80RH

供電電源

220VAC±10，50Hz

介質(zhì)接觸材質(zhì)

氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封型

接頭尺寸

Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8φ10,φ12

顯示方式

電腦/觸摸屏/儀表