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C50系列熱式氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家高精度格3天出貨 3年...

價(jià)格

電議

型號(hào)

C50

品牌

邁測(cè)儀器

所在地

北京市通縣

更新時(shí)間

2019-03-25 23:30:01

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次

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

C50型氣體質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能，價(jià)格適中。

產(chǎn)品描述

C50型氣體質(zhì)量流量控制器和C50M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。

本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制，性能，價(jià)格適中。

特點(diǎn)

±1％F.S.的準(zhǔn)確度

±0.2％F.S.的高重復(fù)精度

響應(yīng)時(shí)間快

穩(wěn)定性和可靠性高

滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制

可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體

同類產(chǎn)品尺寸小

安裝尺寸國(guó)際兼容

應(yīng)用

真空鍍膜設(shè)備

微反應(yīng)裝置

晶體制備設(shè)備

混氣配氣設(shè)備

燃燒測(cè)試設(shè)備

氣相色譜儀及其它分析儀器

標(biāo)準(zhǔn)

氣體：氮?dú)?span>(N2)

溫度和壓力：溫度—273.15 K（0℃）

氣壓—101325 Pa（760mm Hg）

主要技術(shù)參數(shù)

基本型號(hào)	C50	C50M
流量規(guī)格 eq oac(○,1)1(N2)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式	無(wú)
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準(zhǔn)確度	±1％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
線性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤2sec	≤1sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)	0.02MPa～3MPa
	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
大耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號(hào)	0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	0～+5.00V (無(wú)輸入信號(hào)，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)	+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10^-9Pa·m³/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, 氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長(zhǎng)×寬×高：127×30×100 mm
凈重量	0.88kg	0.72kg

注 eq oac(○,1)1：滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，儀器儀表交易網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
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