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      2. 美國Thermo鍍層測厚儀

        價格
        電議

        型號
        MicronX

        品牌
        美國Thermo

        所在地
        上海市 松江縣

        更新時間
        2019-03-07 20:35:01

        瀏覽次數(shù)

          更小,更快,更薄

          MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應(yīng)用設(shè)計的強(qiáng)有力的測量工具。使用Thermo獨(dú)創(chuàng)的, 技術(shù)的硬件和軟件, MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積, 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受多的金屬薄膜測量的挑戰(zhàn)。

          X-射線能譜技術(shù)方面幾十年的經(jīng)驗(yàn)帶來了微束X-射線熒光的幾點(diǎn)創(chuàng)新:

          激發(fā)光束的光學(xué)準(zhǔn)直器可以獲得一束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面

          靈活和精密的樣品定位

          新的X-射線檢測技術(shù)

          綜合, 易用的操作界面和應(yīng)用軟件

          X-射線束準(zhǔn)直

          光學(xué)準(zhǔn)直

          這一革命性的技術(shù)發(fā)出小至 20微米, 強(qiáng)度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強(qiáng)度的增加可以減少測量時間比機(jī)械準(zhǔn)直快100倍并且精度提高10倍。 光學(xué)準(zhǔn)直對微束應(yīng)用是極為重要的, 因?yàn)楦呔群涂焖賹λ腔镜摹?/span>

          精密樣品定位

          伺服驅(qū)動的樣品臺

          為了高精度的樣品定位,MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅(qū)動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達(dá)到+/-5+/-2微米。

          硅片樣品臺有適合于125 mm300 mm大小硅片的許多插板選購件, 樣品臺的行程能達(dá)到300 mm硅片的任何一點(diǎn)。

          的真空環(huán)境

          Thermo的真空導(dǎo)管技術(shù)包括X-射線束發(fā)生和檢測系統(tǒng), 而樣品在空氣中。 這種獨(dú)有的設(shè)計創(chuàng)造了一種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度, 而且樣品操作快速, 方便。

          X-射線檢測

          MicronX有一整套X-射線檢測技術(shù),用戶可以根據(jù)自己的應(yīng)用選擇合適的檢測器。

          除了正比計數(shù)管和PIN二極管檢測器以外, MicronX能配置我們獨(dú)有的電致冷Si(Li)檢測器或硅漂(SD)檢測器。 這些檢測器均有極好的分辨率和靈敏度, 適合于:

          很薄的薄膜應(yīng)用

          高精度要求

          成份復(fù)雜, 有重疊峰的多元素或合金

          Si(Li)檢測器

          鋰漂移硅[Si(Li)] 檢測器為很薄的薄膜應(yīng)用提供高的分辨率和靈敏度。 數(shù)字式信號處理和Si(Li)檢測器技術(shù)保證了高的計數(shù)率通量。 無液氮的方便。

          硅漂(SD)檢測器

          硅漂檢測器技術(shù)和數(shù)字式脈處理電子學(xué)系統(tǒng)提供了高的計數(shù)率通量, 而高計數(shù)率通量可以縮短測量時間和提高精度達(dá)3倍。

          MicronX 設(shè)計的有如下特點(diǎn):

          精密的光學(xué)系統(tǒng)

          變焦, 激光輔助聚焦, 和計算機(jī)發(fā)生的十字線能對極小的部件和結(jié)構(gòu)精密定位。

          應(yīng)用界面的設(shè)計者

          用戶可用圖標(biāo)板創(chuàng)建的應(yīng)用界面。

          報告樣板

          創(chuàng)建用戶的報告格式或者摁一鍵選用一種的質(zhì)量報告。

          XYZ樣品臺和2M/3M分布圖

          可編程選項(xiàng)和部件固定的自動成批測量。

          圖案識別

          自動快速和。

          統(tǒng)計工具

          包括平均值, 標(biāo)準(zhǔn)偏差, 百分偏差,Pp/Ppk, Min/Max, 直方圖, 趨勢線,和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。

          部件號編碼

          可選用部件號或工號為應(yīng)用編碼。

           

          操作界面

          精密

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