VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤，可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專校、科研所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

1、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
2、真空度可以達到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
5、電機采用24V直流無刷電機，可靠性高，適應(yīng)性強，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N2）下進行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統(tǒng)，數(shù)值顯示更直觀可靠。

序號	標(biāo)準(zhǔn)配件名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1	真空吸盤（含O型圈） （?19mm和?60mm）	2個
2	中心定位器（含4個定位柱）	1個
3	滴膠注射器（20ml）	1個
4	注射器支架	1個
5	無油真空泵	1個
6	橡膠管（含卡箍）	1根

序號	可選配件名稱	功能類別	圖片鏈接
1	其它尺寸的真空吸盤	（可選）
2	國產(chǎn)移液槍	（可選）
3	進口移液槍	（可選）