OAI 659  紫外光能量計——適用于所有晶圓步進(jìn)機(jī)
在過去的45年里，OAI一直是紫外光和能量測量儀器的世界創(chuàng)造者，用于半導(dǎo)體、EMS、圓封裝和晶圓凸點等行業(yè)的光刻工藝的可靠準(zhǔn)確校準(zhǔn)控制。*號659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設(shè)計用于包括高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)機(jī)在內(nèi)的所有晶片步進(jìn)機(jī)。該儀器的平均曝光讀數(shù)高達(dá)400，具有以太網(wǎng)和USB接口，可下載記錄的測量值，強(qiáng)度范圍高達(dá)7500MW/cm2。探針的波長有365nm、400nm、420nm和436nm可選。OAI擁有一個完整的校準(zhǔn)實驗室，以維護(hù)我們儀表的性能、質(zhì)量和可靠性。659型儀表可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。
規(guī)格
用戶界面：觸摸屏
計算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄
測量
電源：電池采用充電保護(hù)的3.7V鋰離子充電
充電器電源：100-240 VAC
顯示設(shè)置：2個屏幕
1.設(shè)置屏幕：以太網(wǎng)地址、日期和時間
2.運行屏幕：波長、強(qiáng)度、時間、劑量、探針溫度、探針類型、偏差百分比、序列號、校準(zhǔn)到期日、電池狀態(tài)、探針序列號和充電器狀態(tài)。
內(nèi)存存儲：高達(dá)400條讀取
強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500mw/cm2
強(qiáng)度分辨率：0.01mW/cm2
劑量范圍：高達(dá)1000 J/cm3
劑量分辨率：0.01mJ/cm3
時間范圍：高達(dá)9999秒
時間分辨率：0.0001秒，*小劑量暴露25米秒
尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量：3.5磅
工作環(huán)境：15–40度
符合：ROHS2和CE（EMC和安全）
探頭規(guī)格
選項：非補償溫度探頭
探頭檢測器：硅光電二極管
可用波長（nm）365、400、420、436
過濾器：多層吸收/介質(zhì)
強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500MW/cm2
互換性：任何型號的659探針都可以與659儀表一起使用
符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

注：報價僅為主機(jī)報價，探頭可從上面4個中（365、400、420、436nm）選擇并單獨購買，還需提供步進(jìn)機(jī)型號。
      6XX系列替換了之前的部分3XX和4XX系列，部分3XX和4XX系列于2020年12月停產(chǎn)。