共聚焦顯微鏡HSR-8000可對(duì)待測(cè)物的表面進(jìn)行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標(biāo),提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
1、高精度、高重復(fù)性
采用針孔,共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)保證測(cè)量精度高;
2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
6) 可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理
針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡
10x,20x,50x,100x
視場(chǎng)范圍
120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率
≥4HZ
高度測(cè)量
重復(fù)性*1
20nm
精度*1
±(0.2+L/100)?
顯示分辨率
0.5nm
寬度測(cè)量
重復(fù)性*2
40nm
精度*2
2%
Inm
XY位移平臺(tái)
尺寸
200×200mm
移動(dòng)范圍
100×100mm
負(fù)載
10kg
控制方式
電動(dòng)
Z0軸掃指
范圍
10mm
Z0軸掃描步長(zhǎng)
20nm-150nm
Z向移動(dòng)范圍
100mm
物鏡塔臺(tái)
5孔電動(dòng)
光源
白光LED
外形尺寸
540*379*594mm
重量
45kg
工作電源
AC 220V/50HZ
工作環(huán)境
溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動(dòng)<0.002g,低于15Hz
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共聚焦顯微鏡HSR-8000可對(duì)待測(cè)物的表面進(jìn)行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標(biāo),提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
1、高精度、高重復(fù)性
采用針孔,共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)保證測(cè)量精度高;
2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
6) 可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理
針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡
10x,20x,50x,100x
視場(chǎng)范圍
120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率
≥4HZ
高度測(cè)量
重復(fù)性*1
20nm
精度*1
±(0.2+L/100)?
顯示分辨率
0.5nm
寬度測(cè)量
重復(fù)性*2
40nm
精度*2
2%
顯示分辨率
Inm
XY位移平臺(tái)
尺寸
200×200mm
移動(dòng)范圍
100×100mm
負(fù)載
10kg
控制方式
電動(dòng)
Z0軸掃指
范圍
10mm
Z0軸掃描步長(zhǎng)
20nm-150nm
Z向移動(dòng)范圍
100mm
物鏡塔臺(tái)
5孔電動(dòng)
光源
白光LED
外形尺寸
540*379*594mm
重量
45kg
工作電源
AC 220V/50HZ
工作環(huán)境
溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動(dòng)<0.002g,低于15Hz