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通用迷你溫控探針臺真空腔 HCP421SV-MPS

價格

電議

型號

HCP421SV-MPS

品牌

INSTEC

所在地

上海市徐匯區(qū)

更新時間

2022-09-26 21:27:02

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產品描述

產品簡介

HCP421SV-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

功能特點

mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備

可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定）

適用 10 mm ~ 50 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數

溫度范圍	-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）
加熱塊材質	銀
傳感器/溫控方式升溫速率	100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） 120℃/min（at 100℃）
溫控速度	±0.01℃/min
溫度分辨率	0.01℃ RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性	±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
軟件功能	可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

電學參數

探針	默認為錸鎢材質的彎針探針
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調模式+微調模式，微調行程2mm
點針	從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口	默認為BNC接頭，可選三同軸接口
樣品臺面電位	默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學參數

適用光路	反射光路
窗片	可拆卸與更替的窗片
物鏡工作距離	12 mm *截面圖中WD
上蓋窗片觀察	窗片范圍φ50mm，視角±40° *截面圖中θ1
負溫下窗片除霜	吹氣除霜管路

結構參數

適用樣品	10 mm ~ 50 mm 直徑（標準）
樣品腔高	8 mm
探針座	可從外部XYZ移動的探針臂粗調模式+微調模式，XY粗調20mm XY微調行程10mm,Z微調 3mm
氣氛控制	真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻	可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量	300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

基本配置	真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件	安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

可選型號

TP102SV-MPS	溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421SV-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 28mm*30mm
HCP402SV-MPS	溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm
HP1000SG-MPS	溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室
定制型號	按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品