集成電路ic等離子表面處理機技術(shù)：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-8L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中頻電源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

8（Option）

有效處理面積（Area）

400（L）*300（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品特點：大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運行。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和*的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

采用真空電漿清洗機處理線路板的工藝、時間和處理方案可以節(jié)約成本，通過射頻電源在一定壓力下對表面進行升輝，從而產(chǎn)生高能等離體，然后對表面進行等離子轟擊，產(chǎn)生微觀上剝離效應(yīng)。
將等離子體用于線路板(FPC/PCB)預(yù)粘接前的表面清洗。一般情況下，線路板下游客戶會對產(chǎn)品進行來料檢驗，例如打線檢驗、拉力檢驗等等，而當產(chǎn)品表面未清洗時，往往會出現(xiàn)某些污染，導(dǎo)致檢驗不合格。為了避免上述問題，在焊接打線之前進行表面等離子清洗，在這個追求高質(zhì)量的年代已經(jīng)成為一種趨勢。
利用射頻電源在一定壓力下在真空電漿清洗機真空腔內(nèi)產(chǎn)生高能等離體，然后利用等離子體轟擊加工對象面，產(chǎn)生顯微上剝離效應(yīng)(調(diào)整等離子轟擊時間可調(diào)整剝離深度，等離子的作用是納米級的，因此不會損傷加工物體)，從而達到作業(yè)目的。
板材產(chǎn)品要求：
1、產(chǎn)品材質(zhì)：FPC，上部有粘黃膠；
2、達因值達34↑；
3、處理時效性達到1周↑；
4、采用吸塑盒子進行出貨前處理，吸塑盒子應(yīng)無靜電及變形等不良現(xiàn)象。
經(jīng)等離子處理的線路板的效果：
1、處理前達因值：32達因筆↓，處理后達因筆達到70↑；
2、處理前接觸角度達到80度，處理后接觸角度達到10度；
3處理時間：60S(時間可以重新優(yōu)化)；
4、氣體：氧氣。

產(chǎn)品時效影響因素：
由于真空電漿清洗機等離子處理有化學(xué)和物理變化的特點。物理化學(xué)變化，是指材料表面改性、蝕刻后表面突起增大，表面積增大。如暴露于受污染的空氣中，與灰塵、油污、雜質(zhì)混合，表面能量會逐漸降低。等離子處理時，化學(xué)變化會引入含氧極性的基團，如羥基、羧基等，這些活性分子具有時效性，易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)變化，處理后表面能保留的時間很難確定。氣體、功率、處理時間、放置環(huán)境等因素對材料表面時效性均有影響。清潔FPC產(chǎn)品后驗證的時間為：1周(通過接觸角測量數(shù)據(jù)確認，接觸角值越小，達因值越高)