超聲波掃描顯微鏡及原理介紹
安賽斯()有限公司,www.analysis-tech.com
超聲波掃描顯微鏡,英文是:Scanning Acoustic Microscope,簡(jiǎn)稱(chēng)SAM,由于它的主要工作模式是C模式,因此也簡(jiǎn)稱(chēng):C-SAM?,F(xiàn)在做失效分析的實(shí)驗(yàn)室里,這個(gè)設(shè)備直接被通稱(chēng)為C-SAM。
上個(gè)世紀(jì)的90年代中,微電子器件的大規(guī)模生產(chǎn)制程中,發(fā)現(xiàn)IC的Die上下表面脫層,錫球/芯片裂縫、或填膠中的裂縫、封裝材料(很多塑封材料)內(nèi)部的氣孔等缺陷,無(wú)法用常規(guī)的X-ray失效分析手段檢測(cè)到,此時(shí),安賽斯()有限公司引入一種*的測(cè)試技術(shù)用于芯片的后封裝測(cè)試,它就是超聲波顯微鏡。超聲波顯微鏡的全稱(chēng)是:超聲波掃描顯微鏡,或者叫掃描式超聲波顯微鏡。
超聲波顯微鏡的工作原理
超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點(diǎn)是分辨率高,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒(méi)有限制。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選。
超聲顯微鏡的核心就是帶壓電陶瓷的微波鏈,壓電陶瓷在射頻信號(hào)發(fā)生的激勵(lì)下,產(chǎn)生短的聲脈沖,隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起,超聲波掃描顯微鏡的這個(gè)帶壓電陶瓷的部件叫換能器,英文是:Transducer。換能器既能把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波信號(hào),又能把從待測(cè)樣品反射或透射回來(lái)的聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),送回系統(tǒng)進(jìn)行處理。
換能器負(fù)責(zé)將電磁脈沖轉(zhuǎn)換成聲脈沖,離開(kāi)換能器后,聲波被聲透鏡通過(guò)耦合介質(zhì)(一般是去離子水或無(wú)水酒精等)聚焦在樣品上。耦合介質(zhì)是為了防止超聲波信號(hào)快速衰減,因?yàn)槌暡ㄐ盘?hào)在一些稀疏介質(zhì)中傳播是,會(huì)快速衰減。樣品置于耦合介質(zhì)中,只要聲波信號(hào)在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗介面(如遇到孔隙、氣泡、裂紋等),就會(huì)發(fā)生反射。
換能器接收到反射信號(hào)后,會(huì)將其轉(zhuǎn)換成電脈沖,超聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電脈沖后表征為256級(jí)灰度值。每只換能器都有其特定的超聲波頻率,安賽斯(ANALYSIS)公司可以針對(duì)用戶(hù)的需要特別配置。這個(gè)過(guò)程就是超聲波掃描顯微鏡反射工作模式的基本過(guò)程。
另一種超聲顯微鏡的工作模式叫透射模式。透射掃描時(shí),樣品下方要安裝另外一只換能器,這只換能器會(huì)接收所有完全穿透樣品的超聲波信號(hào)。根據(jù)接收的信號(hào)就能還原出各種超聲波C掃圖像。
超聲波顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用
超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)
超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域
安賽斯公司提供的超聲波掃描顯微鏡主要有V400-E,V700-E,V1000-E等主流型號(hào),其中在市場(chǎng)上應(yīng)用*多的型號(hào)為V400-E,V-400E超聲波掃描顯微鏡是一款用于質(zhì)量及工藝控制、科研方面的*無(wú)損檢測(cè)設(shè)備,具有高工作效率,比常規(guī)機(jī)器要快30%以上。采用了*的射頻和超聲換能器技術(shù),頻率可高達(dá)550MHz。特別為用戶(hù)定制簡(jiǎn)體中文界面語(yǔ)言,使*人員、或產(chǎn)線作業(yè)員均可輕松應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的超聲無(wú)損檢測(cè)工作。
安賽斯V-400E是基于*的產(chǎn)品技術(shù)和研究成果為用戶(hù)量身定制的一套符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的核心平臺(tái),其掃描臺(tái)采用高速線性馬達(dá)和磁懸浮技術(shù),可處理樣品的尺寸*達(dá)400mm×400mm(長(zhǎng)x寬),*小能做到:0.2mm×0.2mm。超聲頻率范圍達(dá)1MHz~550MHz,換能器頻率范圍為1-550MHz,系統(tǒng)內(nèi)建高精度自準(zhǔn)直系統(tǒng)。
更多信息,請(qǐng)聯(lián)系安賽斯(ANALYSIS)工作人員。
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超聲波掃描顯微鏡及原理介紹
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超聲波掃描顯微鏡,英文是:Scanning Acoustic Microscope,簡(jiǎn)稱(chēng)SAM,由于它的主要工作模式是C模式,因此也簡(jiǎn)稱(chēng):C-SAM?,F(xiàn)在做失效分析的實(shí)驗(yàn)室里,這個(gè)設(shè)備直接被通稱(chēng)為C-SAM。
上個(gè)世紀(jì)的90年代中,微電子器件的大規(guī)模生產(chǎn)制程中,發(fā)現(xiàn)IC的Die上下表面脫層,錫球/芯片裂縫、或填膠中的裂縫、封裝材料(很多塑封材料)內(nèi)部的氣孔等缺陷,無(wú)法用常規(guī)的X-ray失效分析手段檢測(cè)到,此時(shí),安賽斯()有限公司引入一種*的測(cè)試技術(shù)用于芯片的后封裝測(cè)試,它就是超聲波顯微鏡。超聲波顯微鏡的全稱(chēng)是:超聲波掃描顯微鏡,或者叫掃描式超聲波顯微鏡。
超聲波顯微鏡的工作原理
超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點(diǎn)是分辨率高,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒(méi)有限制。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選。
超聲顯微鏡的核心就是帶壓電陶瓷的微波鏈,壓電陶瓷在射頻信號(hào)發(fā)生的激勵(lì)下,產(chǎn)生短的聲脈沖,隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起,超聲波掃描顯微鏡的這個(gè)帶壓電陶瓷的部件叫換能器,英文是:Transducer。換能器既能把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波信號(hào),又能把從待測(cè)樣品反射或透射回來(lái)的聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),送回系統(tǒng)進(jìn)行處理。
換能器負(fù)責(zé)將電磁脈沖轉(zhuǎn)換成聲脈沖,離開(kāi)換能器后,聲波被聲透鏡通過(guò)耦合介質(zhì)(一般是去離子水或無(wú)水酒精等)聚焦在樣品上。耦合介質(zhì)是為了防止超聲波信號(hào)快速衰減,因?yàn)槌暡ㄐ盘?hào)在一些稀疏介質(zhì)中傳播是,會(huì)快速衰減。樣品置于耦合介質(zhì)中,只要聲波信號(hào)在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗介面(如遇到孔隙、氣泡、裂紋等),就會(huì)發(fā)生反射。
換能器接收到反射信號(hào)后,會(huì)將其轉(zhuǎn)換成電脈沖,超聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電脈沖后表征為256級(jí)灰度值。每只換能器都有其特定的超聲波頻率,安賽斯(ANALYSIS)公司可以針對(duì)用戶(hù)的需要特別配置。這個(gè)過(guò)程就是超聲波掃描顯微鏡反射工作模式的基本過(guò)程。
另一種超聲顯微鏡的工作模式叫透射模式。透射掃描時(shí),樣品下方要安裝另外一只換能器,這只換能器會(huì)接收所有完全穿透樣品的超聲波信號(hào)。根據(jù)接收的信號(hào)就能還原出各種超聲波C掃圖像。
超聲波顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用
超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)
超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域
安賽斯公司提供的超聲波掃描顯微鏡主要有V400-E,V700-E,V1000-E等主流型號(hào),其中在市場(chǎng)上應(yīng)用*多的型號(hào)為V400-E,V-400E超聲波掃描顯微鏡是一款用于質(zhì)量及工藝控制、科研方面的*無(wú)損檢測(cè)設(shè)備,具有高工作效率,比常規(guī)機(jī)器要快30%以上。采用了*的射頻和超聲換能器技術(shù),頻率可高達(dá)550MHz。特別為用戶(hù)定制簡(jiǎn)體中文界面語(yǔ)言,使*人員、或產(chǎn)線作業(yè)員均可輕松應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的超聲無(wú)損檢測(cè)工作。
安賽斯V-400E是基于*的產(chǎn)品技術(shù)和研究成果為用戶(hù)量身定制的一套符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的核心平臺(tái),其掃描臺(tái)采用高速線性馬達(dá)和磁懸浮技術(shù),可處理樣品的尺寸*達(dá)400mm×400mm(長(zhǎng)x寬),*小能做到:0.2mm×0.2mm。超聲頻率范圍達(dá)1MHz~550MHz,換能器頻率范圍為1-550MHz,系統(tǒng)內(nèi)建高精度自準(zhǔn)直系統(tǒng)。
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