大面積瞄寫系統(tǒng):DWL 8000
搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。
對于激光圖形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,加高的設計。DWL 8000的溫度控制,動態(tài)的焦點追蹤,closed loop位置決定,確保*布置和完全覆蓋性的直寫范圍。
DWL 8000多年的經(jīng)驗累積,使Gray Scale曝光技術,可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上,使用曝光強度經(jīng)過調整的激光,可在連續(xù)表面上形成1個復雜的3維樣式。
主要功能:
。*小描繪尺寸:0.7um
。*小直寫尺寸:20nm
。5種描繪模式
??赊D換成自動描繪模式
。進階3維繪畫方式
。里測/校直用照相機系統(tǒng)
。選擇線上(Online)傳送繪畫數(shù)據(jù)
。自動基板加載系統(tǒng)
。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)
。Stage Map補正
。Edge detectof unit
應用范圍:
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor
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大面積瞄寫系統(tǒng):DWL 8000
搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。
對于激光圖形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,加高的設計。DWL 8000的溫度控制,動態(tài)的焦點追蹤,closed loop位置決定,確保*布置和完全覆蓋性的直寫范圍。
DWL 8000多年的經(jīng)驗累積,使Gray Scale曝光技術,可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上,使用曝光強度經(jīng)過調整的激光,可在連續(xù)表面上形成1個復雜的3維樣式。
主要功能:
。*小描繪尺寸:0.7um
。*小直寫尺寸:20nm
。5種描繪模式
??赊D換成自動描繪模式
。進階3維繪畫方式
。里測/校直用照相機系統(tǒng)
。選擇線上(Online)傳送繪畫數(shù)據(jù)
。自動基板加載系統(tǒng)
。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)
。Stage Map補正
。Edge detectof unit
應用范圍:
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor