Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-微電子和半導(dǎo)體用快速檢測檢驗(yàn)系統(tǒng)：

Leica DM3 XL徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡，是特別適合微電子和半導(dǎo)體檢測快速檢測的檢驗(yàn)系統(tǒng)。在微電子和半導(dǎo)體的檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析中，要求檢測速度必須夠快，才能滿足快速做出反應(yīng)的要求。DM3 XL顯微鏡充分利用特有的宏觀物鏡視場寬敞30%，快速掃描大到6"樣品組件，檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場能快速識(shí)別缺陷，提高工作效率。同時(shí)DM3?XL檢驗(yàn)系統(tǒng)為中等預(yù)算用戶提供了高端品質(zhì)，是微電子和半導(dǎo)體理想的檢驗(yàn)系統(tǒng)。

Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-關(guān)鍵特征體現(xiàn)優(yōu)勢：

高效檢驗(yàn)大到 6" 樣品
? 0.7X放大倍率的宏觀物鏡實(shí)時(shí)采集35.7mm的視場，快速掃描大到6"的樣品組件，更多細(xì)節(jié)盡收眼底，工作更高效
? 宏觀物鏡下可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足區(qū)域、不均勻的徑向膜厚度等
? 視場比普通物鏡寬敞30%，能有效節(jié)省檢驗(yàn)時(shí)間，快速檢測、快速響應(yīng)

LED照明適用任何相襯觀察方法
? 徠卡特有的LED照明，提供恒定色溫，亮度等級(jí)自由調(diào)節(jié)，真彩色成像，始終可看到相同顏色樣品，并獲得可復(fù)制的結(jié)果
? 適用于明場、暗場、微分干涉相襯、偏振、熒光和斜射照明
? LED使用壽命可達(dá)35000小時(shí)，低能耗，節(jié)約成本

以實(shí)惠價(jià)格享受徠卡的光學(xué)特性
?  采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑，從不同角度照亮樣品，是簡單有效的形貌可視方法
?  借助深暗場對(duì)比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒，此外暗場的大工作距離有利于保護(hù)珍貴樣品免受損傷

多種載物臺(tái)插件適合不同樣品
? 載物臺(tái)插件種類豐富，依據(jù)被檢測樣品形狀和尺寸的選配
? 載物臺(tái)尺寸：150 mm x 150 mm
? 供選配的載物臺(tái)插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座
? 能實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)快速粗略或定位

直觀明了工作更舒適
? 彩色編碼功能對(duì)基本設(shè)置進(jìn)行簡化，提升工作速度，并減少操作失誤
? 采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，舒適性好，操作更簡單