主動(dòng)隔振臺(tái)：顯微鏡主動(dòng)減震系統(tǒng)

描述：

輕量型、緊湊型的桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，提高精密設(shè)備的性能。流線型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)允許它無(wú)縫地成為工作站環(huán)境的一部分，安裝簡(jiǎn)易并且不需后續(xù)的調(diào)整。由工程師、物理學(xué)家和具有精密結(jié)構(gòu)知識(shí)的領(lǐng)Xian工業(yè)顧問(wèn)開發(fā)，ArisTT在減少振動(dòng)和干擾方面的高效性標(biāo)志著它是實(shí)驗(yàn)室使用隔振的革Ming性和關(guān)鍵性工具。

可內(nèi)置特殊振動(dòng)模塊：

* 允許測(cè)試目標(biāo)系統(tǒng)或設(shè)備在不同振動(dòng)條件下的性能。

* 不同頻率和振幅可調(diào)

* 模擬真實(shí)世界環(huán)境條件

* 驗(yàn)證目標(biāo)系統(tǒng)或裝置內(nèi)部部件對(duì)振動(dòng)的響應(yīng)

* 使用標(biāo)準(zhǔn)外部傳感器了解振動(dòng)和振動(dòng)引起的內(nèi)部部件共振對(duì)目標(biāo)系統(tǒng)性能的影響

* 提供學(xué)目標(biāo)系統(tǒng)限制的能力

* 通過(guò)振動(dòng)傳遞性的圖表收集和分析數(shù)據(jù)

產(chǎn)品規(guī)格：

1、        性結(jié)構(gòu)

2、        6維主動(dòng)隔振

3、        主動(dòng)隔振頻率范圍：0.5～100Hz

4、        高阻尼階躍響應(yīng)

5、        沒(méi)有調(diào)試要求—安裝極簡(jiǎn)

6、        適用大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室AFM、SEM隔振

7、        可與工具的內(nèi)部隔振串聯(lián)操作

產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域及應(yīng)用：

分析工具：高分辨率臺(tái)式顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM

半導(dǎo)體設(shè)備：光刻

納米測(cè)量：納米壓痕機(jī)、輪廓儀、干涉儀

精密測(cè)量：分析天平、硬度測(cè)試

性能曲線圖：

KNS主動(dòng)減震臺(tái)顯微鏡減震實(shí)際應(yīng)用案例：