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SENTECH RM 2000反射儀能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對(duì)單層膜、多層膜和基底材料進(jìn)行高精度反射光譜測(cè)量??蓪?duì)吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析薄膜厚度和折射率.
特性:
?高精度測(cè)量反射光譜, 非接觸、正入射測(cè)量
?寬光譜范圍, 200nm-930nm (UV-VIS-NIR)
?可測(cè)量反射率R, 薄膜厚度, 折射率
?FTP expert分析軟件,用于測(cè)量薄膜光學(xué)常數(shù)。
?測(cè)量半導(dǎo)體膜的材料組分(例如: AlGaN on GaN)
?分析外延生長(zhǎng)多層膜
選項(xiàng):
?深紫外擴(kuò)展 (200 nm)
?近紅外擴(kuò)展 (1700 nm)
?x-y 地貌圖掃描樣品臺(tái)和掃描軟件
?攝像頭選項(xiàng),用于觀測(cè)樣品表面
?電腦
技術(shù)指標(biāo):