為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動?？諝饬鹘?jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。