CS-100 Series

獨立式化學藥液濃度計

CS-100 系列為半導體制程各種清洗和刻蝕工藝的藥液提供完整的、高精度的化學藥液濃度計。除高速響應和緊湊設計等特點外，濃度計還可實時測量每種組分的濃度，通過報警提醒化學藥液變化和自動供應的時間。具備執(zhí)行短周期測量的能力，可準確檢測濃度變化。

事業(yè)部: 半導體

產(chǎn)品分類: 濕法過程控制

制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

Model name	CS-100
Measurement principle	Absorption spectroscopic method
Sample temperature	20 to 30 Degree C
Ambient temperature	20 to 25 Degree C
Components	Max. 4 components
Chemical range	Max. 4 ranges
Communication	Parallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output (4-20 mA)	Max. 2 components
Dimension	205(W) X 329(D) X 269(H)mm
Power source	DC 24V
Consumable parts	Halogen lamp
Wavelength	UV/NIR
Wetted material	PTFE, PFA, Sapphire or Quartz

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Schematics

CS-131

HORIBA獨立式化學藥液濃度計

HORIBA日本堀場

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