IR-400

多氣體監(jiān)測高級氣體監(jiān)測儀HORIBA日本堀場IR-432北崎熱賣

用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀

IR-400 可在沉積過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測腔室清洗終點(diǎn)。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時(shí)間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
高靈敏度
氣室加熱功能*可達(dá) 180℃
多重顯示
模擬/數(shù)字通信

IR-400 實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測的優(yōu)勢

減少腔室清洗時(shí)間
減少清洗氣體使用量
可重復(fù)和可預(yù)測的清洗過程
延長腔室組件壽命

應(yīng)用示例

監(jiān)控室排氣管線

測量技術(shù)

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進(jìn)行對比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結(jié)果。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗(yàn)證。

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

HORIBA日本堀場

氣體監(jiān)測儀IR-432

HORIBA日本堀場IR-432

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