• 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
  快速響應(yīng)和*的重復(fù)性允許實(shí)時(shí)跟蹤蒸汽濃度的變化
• 多重校準(zhǔn)曲線功能（可選）
  允許測(cè)量多達(dá) 3 種化學(xué)品或量程的濃度
• 多重顯示功能
  IR-300 設(shè)備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測(cè)和前驅(qū)體供應(yīng)管線狀態(tài)的現(xiàn)場(chǎng)檢查能力
• 通信功能
  通過 DeviceNet?、RS485 和模擬通信連接
• 設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊
  該設(shè)備的面對(duì)面尺寸為 124 毫米，設(shè)計(jì)緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

高光強(qiáng)和長(zhǎng)壽命光源與高速信號(hào)處理相結(jié)合，使 IR-300 系列能夠?qū)瘜W(xué)品濃度的變化做出更快、更可重復(fù)的響應(yīng)。這些特性通過實(shí)時(shí)在線濃度測(cè)量，讓用戶真正了解實(shí)際制程。

MOCVD 化學(xué)品的測(cè)量示例

■實(shí)驗(yàn)流程圖

■監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度變化

以下是實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)供應(yīng)化學(xué)品濃度的示例，化學(xué)品濃度因背壓調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)鼓泡器中的壓力而改變。

測(cè)量技術(shù)

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測(cè)量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測(cè)氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進(jìn)行對(duì)比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測(cè)器組成。雙光束檢測(cè)器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗(yàn)證。