電容式位移傳感器ZNXsensor測量顯微鏡移動平臺的微量位移

    無論是生物工程中的細(xì)胞操作、集成電路或光電子器件的加工還是采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作盡管其精度要求各不相同但在硬件裝備中均有一項(xiàng)共性的關(guān)鍵技術(shù)那就是要解決載物臺或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動測量和定位。要實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng)用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容式位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。

顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用ZNXsensor電容式位移傳感器測量反彈的微小位移。

ZNXsensor電容式位移傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

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