前言
氣體質(zhì)量流量計是采用知識產(chǎn)權(quán)的流量傳感芯片和計算機控制開發(fā)生產(chǎn)出的新一代智能化全電子式的氣體質(zhì)量流量儀表。該產(chǎn)品性能處于國際水平，具有靈敏度高、量程范圍寬、精度高、具有抗干擾隔離設(shè)計、多種信號輸出等多項點，并能通過通信接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化管理。
本流量計可用于各類工業(yè)及商用場合的氣體計量、監(jiān)測或控制。為了正確、安全地使用本產(chǎn)品，有效地應(yīng)用其設(shè)計功能，減少因操作錯誤造成的儀表損壞，降低因操作不當(dāng)發(fā)生危險的可能性，了解產(chǎn)品的各項功能、操作規(guī)程與要求、注意事項等內(nèi)容，以免引起誤操作，造成損失。使用者在操作儀器前，必須詳細閱讀本說明書。

聲明
1．本流量計在出廠時，所有軟件、硬件均經(jīng)過嚴格測試，禁止對任何軟件、硬件進行改動。
2．禁止在本流量計有故障的情況時繼續(xù)使用。
3．當(dāng)流量計發(fā)生故障時，必須由我公司或由我公司授權(quán)的人員進行檢修，禁止未經(jīng)我公司同意或未經(jīng)我公司授權(quán)的人員對流量計進行軟件、硬件改動，否則我公司對由此產(chǎn)生的后果概不負責(zé)。


目錄
前言 1
聲明 1
目錄 2
一、 使用及安全事項 3
二、 概述 4
三、 產(chǎn)品分類形式及選型說明 5
四、 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與工作原理 6
五、 指標(biāo) 8
六、 安裝說明 9
七、 功能說明 15
八、 16
九、 維修和故障排除 17
十、 運輸及貯存 17
十一、 開箱及檢查 17
十二、 客戶服務(wù)及支持 18
附錄：應(yīng)用說明 19


一、 使用及安全事項
（1） 本產(chǎn)品適用于相對潔凈、組分單一或相對穩(wěn)定的氣體質(zhì)量流量在線測量，如工業(yè)、商業(yè)環(huán)境內(nèi)的氣體計量、監(jiān)測或控制。在其它環(huán)境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，殊需求請和本公司聯(lián)系。
（2） 使用的范圍請參照本說明書的參數(shù)部分。在其它環(huán)境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，殊需求請和本公司聯(lián)系。
（3） 安全事項 - 使用、安裝、儲存和維護本流量計均須嚴格按照相應(yīng)的安全操作規(guī)范來進行。否則，將有可能造成危害及傷害以及其他不可預(yù)知的有害事件發(fā)生。所有的安裝、儲存和維護均需要有經(jīng)驗的人員來進行。本手冊應(yīng)放置在靠近流量計并且隨時易于獲取的地方。
（4） 在使用本流量計前，應(yīng)仔細閱讀本手冊并應(yīng)當(dāng)對手冊所述各項熟記于心。
（5） 本流量計建議維護或重校周期為2年，或視其需要適當(dāng)作相應(yīng)的維護或校驗。

二、 概述
氣體質(zhì)量流量計是采用流量傳感芯片和計算機自適應(yīng)歷經(jīng)多年開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表。主要性能處于國際水平，具有靈敏度高、量程比大、精度高等點；還有多種信號輸出，能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝、維護方面也具有其獨的優(yōu)越性能，可廣泛應(yīng)用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領(lǐng)域。
本系列流量計在大陸的執(zhí)行標(biāo)準為Q/77453766-1•1-2006。參照執(zhí)行標(biāo)準: ISO14511。

產(chǎn)品點：
• 采用芯片加工和類似于大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)及材料生長，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
• 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
• 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。
• 結(jié)合二次儀表的微電腦智能，使該流量計重復(fù)性好，實現(xiàn)了計量準確可靠。
• 進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，該流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，為用戶降低能源消耗。
• 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數(shù)方便。
• 本流量計有RS485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
• 用戶根據(jù)需要可以選配4～20mA標(biāo)準電流信號輸出。
• 用戶根據(jù)需要可以選擇脈沖輸出模塊，可兼容現(xiàn)有抄表系統(tǒng)，每個脈沖代表0.001 Nm3的流量。
• 通過，標(biāo)志為EX ia IIC T4，可用于易燃易爆氣體。

三、 產(chǎn)品分類形式及選型說明
選型方式按照如下選型規(guī)則確定：

為選型方便，帶球閥的插入式流量計的探桿長度及對應(yīng)的流量范圍可見下表：
管道直徑(mm) 插入深度(mm) 探桿長度（按15通徑的球閥計算） 定長 流量范圍（Nm3/hr）
80 10.60 192.60 桿長250；直徑φ14球閥15 0～1024
100 13.25 195.25 0～1600
125 16.56 198.56 0～2500
6 0～3600
200 26.50 208.50 0～6400
250 33.00
300 39.75 221.75 0～14400
350 46.38 228.38 0～19600
.00 0～25600
450 59.63 241.63 0～32400
500 66.25 248.25 0～40000
600 79.50 261.50 桿長325；直徑φ14球閥15 0～57600
700 92.75 274.75 0～78400
800 106.00 288.00 0～102400
900 119.25 301.25 0～129600
1000 132.50 3
1100 145.75 327.75 0～193600
1200 159.00 341.00 桿長400；直徑φ19球閥20 0～230400
4.25 0～270400
7.50 0～313600
0.75 0～360000


四、 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與工作原理
4.1產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
本流量計主要由流量傳感器部件，智能控制、顯示及輸出部件，測量管體，測量探桿,穩(wěn)流器，法蘭及過渡部件組成。其結(jié)構(gòu)如圖4-1所示：





4.2工作原理
芯片傳感，是在硅片上集成了具有機械和電子的征的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代材料制作與大規(guī)模集成電路相結(jié)合獲得新的機電性。微機電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。一個典型的芯片包含有微傳感器、微調(diào)節(jié)器、微執(zhí)行器及智能電子控制線路。其傳感器能感應(yīng)環(huán)境的熱、機械、磁、光、化學(xué)或生物性，通過微調(diào)節(jié)器及智能電子控制線路來完成器件所賦予的功能。
本流量計采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計，它通過由于氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質(zhì)量流量。
不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用單一熱傳感器及熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個熱傳感器及一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。微機電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會像傳統(tǒng)的“熱絲”式質(zhì)量流量計那樣造成氣體的對流。因而，芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的零點穩(wěn)定性和極短的響應(yīng)時間。
本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。見流量計原理框圖圖4-2。




五、 指標(biāo)
5.1 基本參數(shù)
（1） 精度: ±(1.5+|r|Qmax/Qi)%
其中，Qmax: 大流量; Qi: 當(dāng)前流量; r: 零點穩(wěn)定度; 通常r=0.15
（2） 測量范圍: 0.01～65 Nm/sec (例： DN100: 0.25～1600Nm3/hr)
（3） 標(biāo)準狀態(tài)條件（P=101.325kPa，T=293.15K）,執(zhí)行標(biāo)準 Q/77453766-1•1-2006。
5.2 使用環(huán)境
（1） 環(huán)境溫度：-20～+55°C
（2） 環(huán)境濕度：≤95%RH
（3） 大氣壓: 86kPa～106kPa
（4） 工作壓力: 0.1～1.5MPa
5.3 介質(zhì)條件
（1） 介質(zhì)溫度：-10～+55℃（大于此范圍可協(xié)議供貨）；
（2） 可測量的介質(zhì)：除乙炔外的各種工業(yè)氣體。
5.4 電氣性能指標(biāo)
（1） 工作電源：外部電源，8～24 VDC
（2） RS485通信
采用RS485通信接口，可直接與用戶設(shè)備聯(lián)網(wǎng)，遠距離顯示實時流量與累計流量，便于集中管理。本公司可提供專門的用戶軟件。
（3） 4～20mA 電流輸出
與標(biāo)準質(zhì)量流量成正比，4mA對應(yīng)0，20mA對應(yīng)Qmax 。
（4） 脈沖輸出
本流量計的脈沖輸出為0～5V的電平信號，每個脈沖代表0.001Nm3的累計流量。
（5） 電源工作情況記錄與累計流量記錄
A． 可以記錄近1000次供電電源的工作情況，包括上電或者斷電的時間，當(dāng)時的累計流量。
B． 可以根據(jù)需要記錄每3分鐘～720分鐘的累積流量，方便用戶進行數(shù)據(jù)的分析和管理。本公司可提供專門的用戶軟件。
5.5 其他指標(biāo)
（1） 校準氣體：通常為空氣（20°C，101.325 kPa）； 用戶若有需要，可采用實際氣體。詳細請與廠商聯(lián)系。
（2） 防護等級：一體型 IP65（可根據(jù)客戶需求進行相應(yīng)改型處理）
（3） 要求：EX ia IIC T4

六、 安裝說明
6.1 流量計外形




6.2安裝
本產(chǎn)品的安裝為水平安裝。管道體上箭頭標(biāo)記方向為介質(zhì)流向。介質(zhì)進出端口連接必須正確，進口端需裝高效過濾器。
安裝步驟如下：
（1） 取出流量計后檢查其外表，確定無損傷；
（2） 連接并清潔管道。先去掉管道焊接后的一些大的金屬殘渣；然后用急開急關(guān)氣流的方法反復(fù)3次以上，去掉管道內(nèi)的一些小殘渣。確保管道內(nèi)無任何殘渣后方可進入下一步；
注意：a.為了減少灰塵對流量計的影響，保證流量計的靈敏度和計量準確性，必須在流量計前端加高效過濾器；
b.為了確保氣流的穩(wěn)定性和計量的準確性，流量計必須確保前端少7DN，后端少3DN的直管段（注意中間不能有閥門）；
插入式流量計安裝示意，參看圖6-2.







（3） 將流量計安裝到管道上，確保流量計進出口軸線目測無偏斜；
注意：a.為了保證流量計的計量準確性，安裝時要先連接流量計的上游端；
b.流量計安裝時密封件不得凸入管道中，也不能有任何密封膠滲入管道內(nèi)；

（4） 插入式安裝方法及注意事項
A. 安裝原則:
a) 安裝應(yīng)保證氣體流向與產(chǎn)品指示方向一致.（圖6-3）
b) 傳感器與流量方向的平行度應(yīng)小于±3度.（圖6-4）
c) 安裝位置應(yīng)遠離彎頭,閥門,變徑等,保證上游7倍管徑和下游3倍管徑的直管段（圖6-5）


（圖6-3）

（圖6-5）

B. 安裝示意圖：









（圖6-6）

a) 如圖圖6-6，在管體垂直穿過管道截面軸線位置的上端打一個直徑14的圓孔。
b) 把不銹鋼底座采用氬弧保護焊接的方式焊接在直徑14mm的圓孔同心位置，使不銹鋼底座與直徑14mm的圓孔同軸。
c) 把密封圈放在底座上端的V形槽中。
d) 把插入式流量計的探頭穿過底座插入管體，插入前先把鎖緊帽和墊片套在探頭上。
e) 調(diào)整探頭插入深度和探頭軸線位置，旋緊鎖緊帽，將流量計固緊在管體上。保證氣體流向與流量計指示方向一致。

C. 探頭插入深度如圖6-7，

尺寸按以下公式計算：
L = D/8 + H + 157 （公式1）
L：探頭插入深度（mm）
D：管道內(nèi)徑（mm）
H：管道壁厚（mm）

D. 傳感器調(diào)節(jié)方法
如圖6-8




注意：在對插入式表進行傳感器方向校正時，采用我公司提供的校準工裝；見圖6-3-8所示，將工裝的安裝座水平安裝在流量計的圖中所示安裝座處，注意裝平，再鎖緊螺釘，然后插入探桿，如圖所示，要求探桿的兩只腳都能夠完全的接觸好管道的外壁，這樣傳感器的方向就調(diào)好了！

（5） 線纜連接
A．連接流量計與用戶接口的電纜線，并確保流量計外殼上接地線可靠連接大地，連接定義如下（流量計引出線見圖6-9）：












DC+ 即8V～24VDC；
DC- 即GND；
RS485A RS485A；
RS485B RS485B；
LOOP+ 8～24VDC供4～20mA工作（信號與電源隔離）；
LOOP- 4～20mA電流信號輸出；
PULSE 脈沖輸出信號；
VP 即脈沖電源供電+5VDC；
PGND 即脈沖電源供電GND；
保護地 連接大地
（注意：對于控制信號不同要求的用戶，根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用連接對應(yīng)的信號）

（6） 回路電阻的連接（本步驟為需要4～20mA電流信號輸出的用戶使用，其他用戶請?zhí)^本步驟）：
外部4～20mA電流輸出電路電壓與回路大電阻的關(guān)系：
RL（max）=（VS-6V）/20mA
若VS=24V，則
RL（max）=（24V-6V）/20mA=900Ω
一般情況下，直接選擇RL=100Ω；
注意 ：一定要確認連接線無誤后才能進行下一步！

（7） 接通流量計電源，液晶顯示屏上應(yīng)依次顯示：
AUTO CHECKING... （系統(tǒng)自檢）
1) CRYSTAL OK （檢測系統(tǒng)晶體振蕩器,正常）
2) ADC OK （檢測ADC,正常）
3) EEPROM OK （檢測數(shù)據(jù)存儲器EEPROM,正常）
4) RTC OK （檢測實時時鐘RTC,正常）
當(dāng)上述任一項檢測到故障時有錯誤顯示：ERROR
如： 1) CRYSTAL ERROR
顯示出錯標(biāo)志，并繼續(xù)檢測，等待振蕩；若故障仍存在，則系統(tǒng)停止運行；若故障消失，系統(tǒng)運行，顯示 1) CRYSTAL OK-OK）
上述檢測過程完成后，液晶屏上應(yīng)出現(xiàn)如圖7-1的顯示；
（8） 等待約10秒后，液晶屏上應(yīng)出現(xiàn)雙排顯示。上排為當(dāng)前量（即累計流量），單位為標(biāo)準立方米/小時（Nm³）；下排為實時流量，單位為標(biāo)準立方米（Nm³/h）；
注意：由于本流量計具有很高的靈敏度，極微少的氣體流動也將會被檢測到。因此若此時流量計的實時流量讀數(shù)不為零是正常的（管道中完全無氣體流動時顯示應(yīng)為零）；
（9） 開啟管道上下游的閥門，流量計開始計量管道中的氣體流量，液晶屏顯示出現(xiàn)流量數(shù)據(jù)。

6. 3流量計安裝注意事項:
（1） 嚴禁流量計在線焊接管道法蘭；
（2） 流量計安裝前必須清除管道中的雜質(zhì),避免異物進入而損壞流量計,管道內(nèi)壁應(yīng)清潔無積垢；
（3） 流量計安裝時密封件不得凸入管道中，流量計進出口軸線目測無偏斜；
（4） 流量計的輸出連線中保護地線必須與現(xiàn)場大地可靠連接；
（5） 安裝后不允許對流量計產(chǎn)生安裝應(yīng)力，以免損壞流量計；
（6） 流量計周圍不能有強的外磁場干擾及強烈的機械振動；
（7） 介質(zhì)流量應(yīng)穩(wěn)定，操作有關(guān)閥門時動作要緩慢，切勿突然關(guān)閉。

七、 功能說明
7.1 工作模式
本流量計具有用戶、操作和校準工作模式，一般情況，均在用戶模式下工作。
（1） 用戶模式下，流量參數(shù)只在液晶屏上顯示，輸出接口不工作；
（2） 操作模式下，流量參數(shù)在液晶屏上顯示的同時，流量計上的RS485和脈沖輸出接口也有數(shù)字輸出；
（3） 校準模式下，流量計在校準系統(tǒng)管理下，讀出和存儲校準參數(shù)。
7.2 內(nèi)部參數(shù)輸出
流量計內(nèi)部自動會記錄大、小瞬間流量值和時間值，斷電時間及斷電時的累積流量等，為實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理提供條件。用戶可采用本公司提供的專門用戶軟件。
7.3 LCD顯示
在正常工作狀態(tài)下，本流量計液晶屏為如圖7-1顯示。
顯示內(nèi)容有：量（即累計流量）、流量（即瞬時流量）等；本流量計表盤如圖所示：







在正常工作狀態(tài)下，本流量計液晶屏為雙排數(shù)字顯示。上排為當(dāng)前累計流量，單位為Nm3（標(biāo)準立方米）,可以顯示0.000～99999999.999 Nm3；下排為實時流量，單位為Nm3/h （標(biāo)準立方米/小時），可以顯示0.000～999999.999 Nm3/h。
實時質(zhì)量流量與體積流量間的轉(zhuǎn)換是基于下述條件：1 標(biāo)準立方米（Nm3/h）等于在溫度20°C，大氣壓力101. 325kPa下該氣體1立方米的體積。
7.4 RS485通信
本流量計的通訊方式為RS485，其設(shè)置為：
波率－9600；數(shù)據(jù)位－8；停止位－1；校驗位/流控制－無。
（1） 用戶模式：
通過RS485向流量計送0x9d和0x00（并取得流量計的確認信號0x9d和0x00），流量計進入用戶模式。

（2） 操作模式：
通過RS485向流量計送0x9d和0x54（并取得流量計的確認信號0x9d和0x54），流量計進入操作模式，RS485將連續(xù)輸出一組數(shù)據(jù)（ASCII碼）：
V=vvvv F=ffffff A=aaaaaaaa T=x ;
其中V為電壓內(nèi)碼值，F(xiàn)為流量值（fff.fff Nm3/h），A為流量（aaaaa.aaa Nm3），T為當(dāng)前傳感器（0和1分別代表不同的傳感器）。
7.5 累計流量記錄
（1） 流量數(shù)據(jù)間隔100s保存一次。
（2） 可選擇每3～1440分鐘(可以設(shè)置)記錄一組數(shù)據(jù)，以便分析某段時間的氣體使用情況，保存內(nèi)容有：年，月，日，時，分，量，流量數(shù)據(jù)。一共可以記錄1000條數(shù)據(jù)。
上述數(shù)據(jù)可以通過應(yīng)用軟件形成用氣量曲線圖，如瞬時流量曲線圖，日用氣量曲線圖，月用氣量曲線圖。

八、
雖然本流量計在出廠前已經(jīng)過嚴格質(zhì)量檢查，在產(chǎn)品現(xiàn)場安裝前仍應(yīng)嚴格按照相應(yīng)的安全規(guī)章來進行。產(chǎn)品的其它性能如校準、部件替換、維修等應(yīng)送到部門由受過專門培訓(xùn)的人員進行。如有需求，本公司可提供相應(yīng)支持和人員培訓(xùn)。
8.1與校準
每臺流量計在出廠時均經(jīng)質(zhì)量和計量檢驗、部門檢驗。合格, 并出具產(chǎn)品合格證明書。當(dāng)用戶使用的氣體與校準氣體的差異較大時，流量計有可能出現(xiàn)相應(yīng)的計量偏差,用戶應(yīng)與廠家聯(lián)系，由廠商提供修正的方法和相應(yīng)的用戶軟件。
本流量計的或校準參照質(zhì)量式流量計規(guī)程和說明書中的要求進行，可采用鐘罩、音速噴嘴或標(biāo)準表法，并按照廠商提供的應(yīng)用程序和規(guī)定的操作規(guī)范來完成。進一步的情形請與廠商，或當(dāng)?shù)貦z測站聯(lián)系。
8.2注意事項
（1） 不得隨意松開流量計的固定部分。
（2） 流量計在室外使用時，建議安裝防護罩。
（3） 介質(zhì)流量應(yīng)穩(wěn)定，操作有關(guān)閥門時動作要緩慢，切勿急啟急停。


九、 維修和故障排除


若需進一步的信息和及時更新信息，請直接與本公司聯(lián)系。
十、 運輸及貯存
10.1 運輸
流量計及其附件應(yīng)該裝入專門的包裝箱中，有防止碰撞、防止振動等保護措施。
采用一般交通工具運輸，在運輸過程中不得劇烈振動、碰撞，避免與腐蝕性物質(zhì)混存混運，并注意防雨防潮。
10.2 貯存
應(yīng)存放于陰涼、通風(fēng)、干燥無腐蝕性物質(zhì)的倉庫內(nèi)。

十一、 開箱及檢查
開箱時應(yīng)檢查外部包裝的完整性，根據(jù)裝箱單核對箱內(nèi)物品數(shù)量、規(guī)格，并應(yīng)檢查其完好性。
隨機文件有：裝箱單，合格證，證書，使用說明書。


十二、 客戶服務(wù)及支持
本公司將竭力保障其產(chǎn)品的質(zhì)量。若有任何質(zhì)量問題或需產(chǎn)品的支持，請與本公司的客戶服務(wù)聯(lián)系。本公司將及時回答您的問題并將竭力保障您的權(quán)益。
Midwest Group
中西集團
附錄：應(yīng)用說明
雖然傳感器的應(yīng)用簡明直觀，為了更好地選擇使用傳感器以滿足應(yīng)用要求，仍需注意以下事項。
壓力和溫度
傳感器測量的是質(zhì)量流量而與壓力和溫度無關(guān)，但在將質(zhì)量流量換算成體積流量時，須進行壓力和溫度修正。在大多數(shù)情況下，本產(chǎn)品的零點漂移對測量的影響微小，因而不需要對壓力和溫度變化額外關(guān)注。但在某些極端出本產(chǎn)品的參數(shù)溫度和壓力的情況下，需進行額外的校準。
體積流量和質(zhì)量流量
絕大多數(shù)氣體計量都采用的是容積式的機械流量計。但是，因為不能測量與環(huán)境溫度和壓力相關(guān)的氣體容積的變化，體積流量在溫度或壓力變動的情況下往往不能滿足測量的要求。流量傳感器直接計量質(zhì)量流量，其計量數(shù)據(jù)是對應(yīng)于標(biāo)準狀態(tài)下（101.325kPa, 20ºC）的體積，通常表達為NCMH（標(biāo)準立方/每小時），質(zhì)量流量實際是自動換算成體積流量。
不同氣體的導(dǎo)熱性
傳感器度取決于校準。校準通常用空氣在101.325kPa, 20ºC條件下進行。不同氣體具有不同性，對不同的氣體，在空氣中校準的傳感器有可能達不到產(chǎn)品參數(shù)表所示的度。但是，傳感器對大多數(shù)氣體都具有相似性，這樣，對不同的氣體，僅需使用氣體轉(zhuǎn)換參數(shù)而不需專門校準即可應(yīng)用MEMS傳感器。更多有關(guān)信息，請聯(lián)系廠家獲取。
量程比

量程比是在限定的度下傳感器能計量的大流量與小流量之比。流量傳感器采用集成工藝，在高精度下能達到相當(dāng)大的量程比。而且，傳感器的量程比與壓力無關(guān)，而不象機械式流量計如渦輪流量計的量程比是一個與壓力相關(guān)的變量。

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