日本SMC縫閥XGT223-46236-1F

XGT 系列 縫閥

對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合

閥尺寸 22 軸數(shù):2軸　波紋管;對應(yīng)晶片尺寸:200mm

閥體形式 3 盒式半屏蔽型

開口窗尺寸 46236 高X寬:46X236mm;對應(yīng)晶片尺寸:200mm

門O型圈材質(zhì) 1 FKM

磁性開關(guān)及插頭 F 磁性開關(guān):D-A93(帶2個開關(guān));插頭:帶D型輔助插頭(CDE-9PF05:廣瀨電機制)

NPQS-F-L-R12-Q12

NPQS-F-LH-R14-Q8

NPQS-F-L-R38-Q8

NPQS-F-L-R14-Q10

NPQS-F-L-R18-Q8

NPQS-F-L-Q10-E

NPQS-F-H-Q10-E

NPQS-F-H-Q8-E

快插接頭 QS-G1/2-12

快插接頭 QS-8-10

快插接頭 QS-3/8-6

氣源管 PUN-12*2 B

快插接頭 QS-G1/8-8

快插接頭 QS-3/8-8

快插接頭 QS-6

氣源管 PUN-10*1.5-BL

快插接頭 QS-1/2-10

快插接頭 QS-G1/2-12

快插接頭 QS-10-12

快插接頭 QS-G1/4-12

快插接頭 QS-3/8-10

快插接頭 QS-G1/4-10

快插接頭 QS-8

快插接頭 QS-6-8

快插接頭 QS-8-10

快插接頭 QS-3/8-12

快插接頭 QS-6-10

MU-N11

SL-V28H

FT-H10C