該設備具有性能穩(wěn)定、高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行清洗和改性。完全地清除樣品表面的有機污染物。定時處理、快速處理、清洗效率高。 綠色環(huán)保、不使用化學溶劑、對樣品和環(huán)境無二次污染。在常溫條件下進行清洗,對樣品非破壞性處理。
技術參數
反應艙規(guī)格
Φ350*L600mm(石英材質)
反映艙有效容積
54L
密封法蘭
可視化觀察窗折頁開門結構
輸入電源
220V/50Hz
整機輸入功率
500W
射頻功率
0-500W(連續(xù)可調)
射頻頻率
13.56MHz
常用工作氣體
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
進氣口
Φ6雙卡套接口
整機規(guī)格
長*寬*高:800*400*1050mm
整機重量
150KG
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主要特點
該設備具有性能穩(wěn)定、高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行清洗和改性。完全地清除樣品表面的有機污染物。定時處理、快速處理、清洗效率高。 綠色環(huán)保、不使用化學溶劑、對樣品和環(huán)境無二次污染。在常溫條件下進行清洗,對樣品非破壞性處理。
技術參數
反應艙規(guī)格
Φ350*L600mm(石英材質)
反映艙有效容積
54L
密封法蘭
可視化觀察窗折頁開門結構
輸入電源
220V/50Hz
整機輸入功率
500W
射頻功率
0-500W(連續(xù)可調)
射頻頻率
13.56MHz
常用工作氣體
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
進氣口
Φ6雙卡套接口
整機規(guī)格
長*寬*高:800*400*1050mm
整機重量
150KG